퓨리텍, 미 텍스와이퍼와의 특허분쟁소송에서 승소

　국내 한 중소기업이 미국기업과의 반도체 소모용품 특허분쟁 소송에서 승리해 관심을 끌고 있다.

　반도체 및 액정표시장치(LCD) 공정 관련 소모품을 생산하는 퓨리텍(대표 조윤제 http://www.puritech.co.kr)은 지난 98년 자사가 국산화한 폴리에스테르 와이퍼에 대해 미국 텍스와이퍼가 제기한 특허침해 및 생산중지 가처분 소송에서 최종 승소했다고 13일 밝혔다. 이에 따라 퓨리텍은 최근 구미공장에 40억원을 투자해 완공한 월 200만장 규모의 와이퍼 생산라인을 본격 가동할 수 있게 됐다.

　반도체 공정시 웨이퍼를 닦는 데 쓰이는 소모품인 폴리에스테르 와이퍼는 당시 텍스와이퍼가 국내외 시장을 독점하다시피 했던 제품으로 퓨리텍이 4년간의 연구를 통해 초음파를 이용해 와이퍼를 절단하는 새로운 방법과 독자적인 테두리 실링을 이용, 분진의 발생을 최소화하고 긁힘현상을 방지한 제품을 개발했다. 　

　그러자 미국 텍스와이퍼는 원자재 처리와 와이퍼 테두리를 실링해 제조하는 공정 등에서 퓨리텍이 자사의 특허를 침해했다고 소송을 제기했으나 법원이 2년만에 퓨리텍의 손을 들어줌으로써 국내 와이퍼 시장을 지킬수 있게 됐다.

　퓨리텍의 한 관계자는 “소송이 진행되는 동안에도 2건의 특허를 추가로 획득하는 등 기술개발에 주력해왔다”면서 “이번 승소로 연 100억원 상당의 수입대체효과를 기대할 수 있게 됐다”고 말했다.

　　 <정진영기자 jychung@etnews.co.kr>