[e테크]마이크로머신 기술-최근 동향

△미국 MIT는 마이크로 실리콘 칩을 채용한 투약장치를 개발했다. 이 투약장치에는 34개의 약품 저장소가 있는데 이는 금막으로 덮여 있다. 이 금막은 1V의 전압을 가하고 칩에 전극을 보내면 10초 안에 녹게 돼 있다. 각 저장소의 용량은 25나노리터다.

　△미국 첨단 방위연구 프로젝트국(DARPA:Defense Advanced Research Project Agency) 은 마이크로 전자기계 시스템(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)의 상용화를 위한 몇 가지 개발 프로젝트를 지원하고 있다. DARPA가 지원하는 프로젝트는 드레이퍼연구소가 추진하고 있는 저가 MEMS 관성 센서, 카네기멜론대학이 개발중인 종합 마이크로 디바이스 CAD 툴을 이용한 MEMS 관성 측정 장치와 센서 어레이의 정보를 저장할 수 있는 ㎠당 10기가비트의 초고밀도 재기록 가능 캐시, 휴렛패커드가 코넬대학 및 캘리포니아대학과 공동으로 개발하고 있는 전기장 방출을 사용하는 대용량 소형 저장장치 등이다.

　△보리아리스 테크니컬은 마이크로머신 기술을 채용한 열이온 컨버터에 대한 특허를 받았다. 열이온 방출 기술은 새로운 것이 아니지만 보리아리스는 여기에 마이크로머신 기술을 사용해 효율성을 높인 것이 특징이다.

　△미국 애질런트테크놀로지스와 일본 NTT는 마이크로 유체공학과 마이크로 광학을 결합해 각각 광 스위치의 새로운 변형제품을 생산했다. 두 회사 제품은 서로 다른 부분이 있으나 기본적으로는 광 채널과 유체채널을 서로 교차하는 망으

로 돼 있다.

　△미국 사이믹스테크놀로지스와 독일 미크로테크닉연구소(IMM:Institut fur

Microtecnik)는 IMM의 마이크로 반응로를 이용해 화학 결합을 위한 툴을 공동 개발하고 있다.

　△광 제품업체인 멤스(MEMS)옵티컬과 로즈리서치는 디지털다기능디스크(DVD:Digital Versatile Disc) 시스템의 이중 파장, 홀로그래프 기반의 광 픽업을 생산하는 합작사를 세우기로 했다. 광 픽업은 650㎚ 및 780㎚의 레이저를 마이크로 광 기술과 통합하고 상보성금속산화막반도체(CMOS) 정류기를 갖출 예정이다.