반도체 소부장

주성엔지니어링, 유기화학기상증착장비 대만수출

　주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 최근 대만의 파운드리 반도체업체로부터 400만달러 상당의 비메모리용 유기화학기상증착(MOCVD) 장비주문을 받아 29일 선적한다고 밝혔다.

　수출되는 장비는 8인치 웨이퍼용 MOCVD인 ‘유레카 2000’으로 원자층기상증착(ALD) 등이 포함된 4개의 체인버로 구성돼 있다.

< 최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>

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