쎄믹스, 300㎜ 웨이퍼용 프로버 개발

반도체장비업체인 쎄믹스(대표 유완식 http://www.semics.com)는 200㎜ 웨이퍼는 물론 300㎜ 웨이퍼에도 적용할 수 있는 웨이퍼 프로버<사진>를 개발했다고 28일 밝혔다.

웨이퍼 프로버는 웨이퍼상의 반도체 칩을 검사하는 탐침과 웨이퍼를 안정적으로 접촉시켜주는 고정밀장치로 국내에서 300㎜ 웨이퍼에 적용할 수 있게 개발한 업체는 이 회사가 처음이다.

쎄믹스가 지난해 5억원을 들여 개발한 이 제품은 100㎏의 하중에서도 휘는 정도를 수미크론 이내로 막아 탐침과 웨이퍼의 접촉불량에 따른 오류를 없앴으며 여러 칩을 동시에 테스트할 때 척(chuck)의 기울어지는 정도를 극소화했다.

또 일단식 카드 착탈장치를 달아 웨이퍼 투입과 검사과정을 효율성 있게 했으며 웨이퍼 단계에서 번인테스트를 할 수 있게 척 온도를 자동제어해 저온에서부터 고온에 이르기까지 균일한 온도분포를 유지한다.

특히 이 제품은 인공지능보정 알고리듬을 채택해 테스터와의 커뮤니케이션, 카메라 위치파악 등 소프트웨어적인 처리의 안정성을 높였다.

쎄믹스는 국내 반도체 소자업체를 통해 이 제품의 성능을 시험중이며 오는 31일부터 열리는 세미콘코리아에서 처음 선보일 예정이다.

이 회사의 유완식 사장은 『외산제품의 동급 기종에 비해 20% 이상 저렴한 가격을 바탕으로 올하반기부터 본격적인 마케팅에 들어가 2004년께 국내시장의 50%, 해외시장의 30%를 점유할 계획』이라고 밝혔다.

쎄믹스는 LG산전의 웨이퍼프로버개발팀 출신 엔지니어를 주축으로 지난해 초 설립된 벤처회사다. 국내 웨이퍼 프로버 시장은 연간 3500만달러에 이르며 일본의 TSK·TEL과 미국의 일렉트로글라스 등 3개사가 4억달러 상당의 세계시장을 과점하고 있다.

<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>