성원에드워드, 절전형 드라이펌프 신제품 출시

반도체 제조용 진공장치업체인 성원에드워드(대표 김중조 http://www.bocedwards.com)는 반도체·액정표시장치(LCD) 제조공정에서 전력소모량을 크게 줄여주는 드라이펌프 신제품 「iH 스마트 시리즈」를 출시한다고 18일 밝혔다.

이 회사가 내년 초부터 공급할 「iH 스마트 시리즈」 드라이펌프는 반도체 제조과정의 식각·화학증착공정에서 진공을 형성시키는 장치로 기존의 AC모터 대신에 DC모터를 채택, 소비전력을 30%까지 절감시킬 수 있다.

회사 관계자는 『반도체 제조라인이 24시간 풀가동되면서 공정장비에서 열이 많이 발생하는데, 이 제품을 채택할 경우 열발생량뿐만 아니라 이산화탄소 배출량도 줄여준다』고 설명했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>