반도체 운반용기 양산 신기술 첫 개발

조금만 흔들려도 망가지기 쉬운 반도체를 안전하게 운송·보관할 수 있는 새로운 반도체 운반용기가 국내 연구진에 의해 세계 최초로 개발돼 양산체제에 들어갔다.

한국원자력연구소 핵물리공학팀(팀장 최병호)은 지난 98년부터 과학기술부와 한국프라코(대표 오복환)의 지원으로 반도체 운반용기 개발에 4억여원의 연구비를 투입, 반도체 성질에 손상을 끼치지 않고도 안전하게 운송·보관할 수 있는 용기를 세계 최초로 개발하는 데 성공했다고 7일 밝혔다.

반도체를 담는 그릇 역할을 하는 반도체 운반용기는 반도체 수출시 반드시 필요한 부대장비로 세계반도체무역통계(WSTS)에 따르면 올해 국내시장 규모는 1000억원, 세계시장은 약 7억달러에 달하는 것으로 집계되고 있다.

이번에 새롭게 개발된 반도체 용기는 연구소에서 자체 개발한 「양성자 가속기 기술」을 활용, 운반용기에 이온빔을 쪼여 용기의 표면에 전기가 통하게 하고 표면저항을 10●∼10●Ω까지 자유자재로 만들 수 있는 것이 가장 큰 특징이다.

연구진은 이 제품이 원하는 저항을 자유롭게 조절할 수 있어 소비자의 요구사항에 맞춰 제품을 만들 수 있을 뿐만 아니라 용기표면에 질소이온을 낮은 에너지로 쪼였기 때문에 기존 제품에 비해 쉽게 닳거나 상처가 나지 않는다고 설명했다.

연구진은 또 기존 제품이 탄소분말을 첨가함으로써 분진문제가 발생하고 재생이 불가능해 폐기물 처리문제가 있었던 것과 달리 분진이 발생하지 않고 사용 후 재생과 무게의 경량화, 색상조절이 가능하다고 덧붙였다.

연구진은 특히 이 기술을 산업용 플라스틱 제품의 정전기 방지와 초강도 표면경화, 휴대전화와 노트북컴퓨터 등의 전자파 차단에 응용할 수 있어 높은 부가가치를 가져올 수 있다고 강조했다.

연구진은 관련기술을 한국프라코에 이전, 현재 안성공장에서 양산장치를 시험가동중에 있으며 국내 및 미국·일본·대만·싱가포르·말레이시아 등에 특허를 출원했거나 출원을 준비중이다.

최병호 박사는 『이번에 개발된 제품은 국내외에서 개발실적이 전혀 없어 경쟁상대가 없는 상황』이라며 『연간 최소 300억원 이상의 수출 효과가 기대된다』고 말했다.

<대전 =박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>