반도체 공정 유해가스 정제장치 국산 대체 활발

반도체 제조공정 중 발생하는 독성가스를 정제해 배출하는 가스 세정장치(스크러버)의 국산화가 빠르게 이뤄지고 있다.

연간 400여대에 달하는 국내 가스 스크러버 시장은 올해를 기점으로 전체 수요의 70%가 국산으로 대체될 것으로 보인다.

가스 스크러버 업체들은 국내시장의 점유율을 높인 데 힘입어 해외시장 수출까지 바라보고 있을 뿐만 아니라 가스 발생량의 감축에 나선 과불화탄소(PFC) 계열 가스를 분해해 대기중에 무해한 상태로 방출하는 PFC 가스 스크러버도 국산화하고 있다.

유니셈(대표 김경균 http://www.union-ind.com)은 올들어 국내 반도체업체에 200대 가량의 스크러버를 공급해 시장 수위를 점한 가운데 연말까지 국내외에 300대 가량을 판매한다는 계획이다. 아울러 지난 상반기 PFC 가스 스크러버 시제품도 개발하고 성능평가중이다.

가스 스크러버 전문 생산업체인 한국엠에이티(대표 김동수 http://www.mat.co.kr)는 최근 대만의 반도체 제조업체인 UMC와 유니팩 등에 450만달러어치를 수출했으며 대만·일본·미국 반도체업체로 차세대 300㎜ 웨이퍼 공정용 가스 스크러버 수출을 추진중이다. 이 회사는 이달중 연소(burning) 및 습식(wet) 방식을 결합한 가스 스크러버 신제품 「MAT 507」을 내놓는 등 올해 말까지 이 부문에서 100억원 이상의 매출을 올릴 계획이다.

한국파이오닉스(대표 이창세 http://www.kpc.co.kr)도 올들어 국내 반도체업체에 90여대의 번(burn) 타입 스크러버를 공급한 데 힘입어 경기도 안성공단의 공장을 증축하고 가스 스크러버 생산을 확대할 계획이다.

다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.com)도 가스 스크러버 공급에 나서 올해 말까지 15대 가량을 판매한다는 계획이며, 카엘(대표 이후근 http://www.kael.co.kr)은 반도체 제조공정 중 유해가스 제거용 필터 생산기술을 바탕으로 최근 가스 스크러버를 개발하고 공급에 나섰다.

태양테크(대표 조현기 http://www.taeyang.com)는 자가발생 열원장치를 이용한 직접산화방식으로 PFC 가스를 세정하는 가스 스크러버를 개발해 국내 반도체업체에 10여대를 공급하는 등 이 시장을 발빠르게 선점하고 있다.

케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)도 플라즈마 방식을 이용해 PFC 계열 가스를 정제하는 「PFC 가스 처리용 플라즈마 세정장치」의 시제품을 개발, 상용화중이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>