반도체 수율(Yield)향상을 위한 공정장비 관리 시스템 개발 활기

반도체 생산라인에서 수율(yield) 향상을 위한 공정장비 관리용 자동화 시스템의 개발이 활기를 띠고 있다.

19일 관련업계에 따르면 지우테크·에스티에스 등 반도체관련 장비업체들이 그동안 수입에 의존해온 반도체 공정장비 관리시스템을 개발, 국내 반도체 생산업체의 양산라인을 대상으로 구축에 나섰다.

국내 업체들이 개발한 시스템은 반도체 생산라인에서 여러 공정장비들의 작동 상태와 이상 유무를 실시간으로 모니터링해 자동 관리하는 시스템으로 그동안 작업자가 수동으로 파악·분석하던 것을 자동화했다.

업계의 한 관계자는 『반도체 생산업체와 공정장비 제조업체들은 반도체 제조 레시피(recipe)가 공정장치에서 정상적으로 실행되고 있는지 확인할 수 있는 툴(tool)을 필요로 하고 있다』며 『공정장비 감시·제어 관리시스템은 칩의 크기를 축소하고 웨이퍼 크기가 300㎜로 대구경화하면서 필수적으로 요구되고 있다』고 말했다.

지우테크(대표 이만봉 http://www.jiwootec.com)는 반도체 제조공정장비의 상태를 실시간으로 파악할 수 있는 「공정장비 관리시스템(모델명 DeRae)」을 자체 개발, 삼성전자·현대전자의 반도체 생산라인에 구축했다.

이 회사의 「DeRae」는 반도체 표준통신 프로토콜인 「SECS/GEM」을 이용해 공정데이터를 실시간으로 처리, 반도체 제조공정중 발생하는 불량원인을 파악하고 공정장비의 이력을 관리함으로써 생산수율을 향상시킬 수 있다. 아울러 멀티 롯(multi-lot), 멀티 웨이퍼(multi-wafer)에 대한 데이터 분석 등이 가능하다.

에스티에스(대표 서진천 http://www.stsol.com)도 반도체 제조라인에서 각 공정장비들의 작동 상태와 이상 유무를 모니터링하는 「제조환경관리시스템(STMS)」을 자체 개발하고 삼성전자 반도체 생산라인 등에 구축했다.

이 시스템은 RTU(Remote Terminal Unit)를 통해 반도체 제조공정 장비로부터 모아진 자료를 DLU(Data Link Unit)에 전달, 주컴퓨터가 이 자료를 바탕으로 각 공정장비를 통제하게 된다. 또한 시스템의 사용환경을 한글화해 작동 및 업그레이가 간편하다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>