캐논 4기가 대응 스텝퍼 내년 말 양산

일본 캐논이 내년 말부터 고속·대용량 반도체 제조에 필요한 차세대 스테퍼를 양산한다고 「일본경제신문」이 보도했다.

캐논이 양산 추진하는 차세대 스테퍼는 불화아르곤(ArF)엑시머레이저를 광원으로 사용해 불화크립톤(KrF)을 사용하는 현행 기종에 보다 미세한 회로노광이 가능하기 때문에 메모리 반도체의 경우 4기가비트의 제조에도 사용할 수 있다. 2002년 약 50대 판매, 900억엔 정도의 매출을 목표로 하고 있다.

이 회사는 이를 위해 40억엔을 투입해 반도체 웨이퍼상에서 선폭 0.13미크론 이하의 미세가공을 가능케 하는 기간부품인 인공형석(불화칼슘 결정) 렌즈 재료공장을 내년 여름 신설할 계획이다.

ArF엑시머레이저는 현행 기종에서 사용하는 석영유리로는 성능을 제대로 낼 수 없기 때문에 인공형석렌즈가 필요하다.

캐논이 차세대 스테퍼의 양산에 나서기로 한 것은 반도체 제조업체들의 강력한 요구 때문으로, 이에 따라 캐논과 함께 이 시장을 3분하고 있는 니콘과 네덜란드 ASM리소그래피도 가세할 것으로 전망된다.

<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>