에스티에스, 반도체 제조공정 관리시스템 개발 공급

반도체 관련 장비업체인 에스티에스(대표 서진천 http://www.stsol.com)는 반도체제조환경관리시스템(STMS)을 자체 개발했다고 20일 밝혔다.

이번에 개발한 제품은 반도체 제조공정에서 각 공정장비들의 작동상태와 이상유무를 모니터링하는 중앙관리시스템으로 그동안 작업자가 수동으로 파악·분석하던 것을 자동화했다.

이 시스템은 또 리모트터미널유닛(RTU)을 통해 반도체 제조공정장비로부터 모은 자료를 데이터링크유닛(DLU)에 전달, 주컴퓨터가 이 자료를 바탕으로 각 공정장비를 통제하게 된다. 이외에 시스템 업그레이드도 관리자가 직접 쉽게 할 수 있도록 설계됐으며 사용환경을 한글화했다.

이 회사는 이번에 개발한 시스템을 삼성전자 반도체 생산라인에 구축하는 등 본격 공급에 들어가 올해 말까지 80억여원의 매출을 올릴 계획이다.

한편 이 회사는 반도체 제조공정에서 발생하는 이물질을 제거하는 드라이클리닝 공정장비도 개발에 나서 내년중으로 상용화할 예정이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>