신에쓰 12인치 웨이퍼 양산

주요 실리콘웨이퍼 생산업체들이 300㎜ 웨이퍼 양산을 잇따라 추진하고 있다.

「일본경제신문」 등에 따르면 스미토모금속공업과 미쓰비시머티리얼이 공동으로 양산 공장 건설에 착수한 데이어 세계 최대 업체인 신에쓰반도체도 26일 양산 공장 건설 계획을 공식화했다.

신에쓰는 약 700억엔을 들여 국내 시라카와 공장에 300㎜ 실리콘웨이퍼 양산 라인을 도입할 예정이다. 내년 초 월간 5만장 규모로 생산 개시, 2002년 월 10만장으로 생산량을 확대할 계획이다.

스미토모금속과 미쓰비시머티리얼은 약 500억엔을 투입, 2002년 초 가동을 목표로 합작 양산 공장 건설을 추진중이다. 월간 5만장 규모로 생산 개시, 2003년 10만장으로 월 생산량을 늘릴 방침이다.

반도체업계에서는 인텔, 히타치제작소와 UMC 등 주요 업체들이 2001∼2002년 가동을 목표로 300㎜ 웨이퍼에 대응하는 공장 건설을 추진중이다.

300㎜ 웨이퍼는 현행 주력인 200㎜ 웨이퍼에 비해 수율을 약 2.5배 높일 수 있다.

<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>