반도체 노광공정용 트랙장비사업 본격화

외국업체들이 시장을 장악하고 있는 반도체 노광공정용 핵심장치인 트랙(track)장비가 잇따라 국산제품으로 대체될 전망이다.

15일 관련업계에 따르면 한국디엔에스·실리콘테크·아펙스 등 반도체장비업체들이 웨이퍼에 패턴을 형성시키기 위한 도포공정과 패턴 노광 후 웨이퍼를 현상시키는 스피너(spinner)장비인 트랙장비 및 모듈을 잇따라 개발하고 공급에 박차를 가하고 있다.

대당 10억∼20억원 규모인 트랙장비는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상하는 코터 &디벨로퍼(coater & developer)로 반도체 1개 라인당 50여대가 소요되는데 국내 수요는 올해 200대에 이를 전망이다.

따라서 이 시장에서 우위를 차지해온 일본계 동경엘렉트론코리아 등 외국업체와 국내업체 사이에 공급경쟁이 본격화할 전망이다.

한국DNS(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 최근 충남 천안 2공단 소재 공장에서 64MD램 이상의 고집적 반도체 제조에 적용되는 DUV 노광공정용 트랙장비(모델명 K-spin8)의 양산에 들어가 지금까지 국내 소자업체에 20대 물량을 공급하기로 했다.

이 회사는 0.13㎛급 단위공정의 감광막 도포 및 현상공정용 300㎜ 트랙장비를 개발중이다.

실리콘테크(대표 우상엽 http://www.stl.co.kr)는 포토리소그래피 공정 중 트랙장비용 핵심모듈을 개발하고 올상반기중 이 분야에서 110억원의 매출을 올린다는 계획이다. 이 회사 우상엽 사장은 『트랙장비용 핵심모듈 제조기술을 토대로 올해 9월중 8인치 웨이퍼 제조용 트랙장비 완제품을 출시하고, 연말쯤 차세대 12인치 웨이퍼용 트랙장비 시제품을 내놓을 계획』이라고 말했다.

화학증착(CVD)장비업체인 아펙스(대표 김상호 http://www. apexsemi.com)는 유럽의 페어차일드테크놀로지로부터 스피너 핵심기술을 이전받아 스피너의 일종인 핫플레이트오븐(hot plat oven)을 개발, 최근 대만의 매크로닉스로부터 3대를 첫 수주한 데 이어 이달 초 대만 마이크로닉인터내셔널에 6억원 규모의 베이킹시스템을 공급하기로 하는 등 트랙장비시장 공략을 본격화하고 있다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>