클린룸설비업체인 신성이엔지(대표 이완근 http://www.shinsung.co.kr)는 반도체장비사업을 대폭 강화하기로 했다.
이 회사는 올해 말까지 경기도 분당에 확보한 500여평의 부지에 지상 5층 규모의 아파트형 공장을 준공, 반도체장비 시제품 생산·테스트에 나서는 한편, 올해 장비부문에서 전체매출의 10%인 120억원의 매출을 달성하고 내년에 전체 매출의 40%인 500억원으로 끌어올릴 계획이라고 밝혔다.
또한 지난해 본격 출시한 웨이퍼 이송장치(wafer sorter)를 비롯, 웨이퍼 프리얼라이너(pre-aligner), 외부 공기에 포함된 먼지와 미량의 가용성 가스를 제거하는 에어워셔(air washer)시스템 등의 생산과 마케팅 활동을 강화하기로 했다.
이와 함께 300㎜ 웨이퍼 이송장치를 국내 소자업체의 파일럿라인에 납품해 성능 테스트에 들어갔으며, 최근 300㎜용 「FOUP 오프너」도 미국업체에 수출하는 데 성공했다.
이 회사는 미국의 반도체 공정자동화 전문업체인 PRI의 기술을 이전받아 충북 음성 공장에 평판디스플레이(FPD)용 스토커시스템의 양산설비를 갖추고 생산에 들어갈 계획이다.
이완근 사장은 『올해부터 본격적으로 이온주입기같은 반도체 제조 핵심공정장비사업에 뛰어들 계획』이라면서 『먼저 해외 의존도가 심한 주요 공정의 핵심부품 개발에 나서겠다』고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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