미·일 합작사, 반도체 생산성향상 공동연구

미국 IBM과 일본 도시바의 합작회사인 「도미니온세미컨덕터」와 미 버지니아주 혁신기술센터, 버지니아주립대학이 공동으로 IT기술을 이용한 반도체 제조공정의 개선 연구를 전개한다고 「일본경제신문」이 전했다.

이번 공동연구를 위해 산학 공동연구팀은 「반도체제조정보기술센터」를 개설, 생산현장에서 온라인으로 복잡한 제조공정 데이터를 최첨단의 소프트웨어를 사용해 분석하고 이 결과를 생산성 향상에 반영시킬 계획이다.

반도체 제조공정에는 총 450개에 달하는 미세공정이 있는데 이 센터에서는 각 공정에서의 기판표면상태 등을 나타내는 약 200종류의 데이터를 순간적으로 분석, 개선점을 발굴해낸다는 방침이다.<명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>