일본 캐논은 약 20억엔을 투입해 「실리콘온인슐레이터(SOI)웨이퍼」의 생산능력을 5배로 확대한다고 일본경제신문이 전했다.
캐논은 SOI웨이퍼의 연구 및 생산거점인 히라쓰카영업소에 클린룸 확장, 제조장치와 분석장치 등을 도입해 생산능력을 월 1만장으로 늘릴 예정이다.
캐논은 절연층 위에 단결정실리콘을 형성한 SOI가 차세대 디지털기기의 중심전자재료로 각광받을 것으로 판단하고 있다. <명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>
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