<세미콘코리아 2000 특집>우일하이테크

반도체장비 토털솔루션 제공업체인 우일하이테크(대표 강현암 http://www.wooilht.co.kr)는 이번 전시회에 유체의 유량 측정에 쓰이는 유량계와 레귤레이터(Regulator), 콜드트랩(Cold Trap), 스크러버(Scrubber)를 출품한다.

유량계는 그동안 수입에 의존하던 것을 100% 국내 순수기술로 국산화한 것으로 고순도 가스나 물 또는 부식성 가스나 산(Acid)을 사용하는 반도체 제조공정에 적합하도록 「STS316」 「STS316L」 스테인리스와 불소계 수지인 테플론(Teflon)을 소재로 사용한 것이 특징이다.

레귤레이터는 반도체 제조공정에 쓰이는 가스나 물의 압력을 일정수준으로 낮추는 가스압력조절기로 역시 전량 수입제품에 의존하던 것을 국산화한 것이다.

이 제품은 사용압력에 따라 고압·저압용으로 구분되며 금속밀봉방식의 압력조절막을 채택, 공정중 불순물 용출이나 부식을 방지한다.

콜드트랩은 반도체 냉각소자를 이용한 급냉장치로 확산·증착 등 반도체 주요 공정중 배출되는 고온·고압의 혼합가스가 공정 후단에서 장비의 고장과 폭발을 일으키는 것을 방지하는 제품이다.