美정부, 반도체업계 지원 차원 0.157미크론 노광장비 세마테크에 설치

　미국 정부가 자국 반도체업계를 지원하기 위해 설립한 세마테크컨소시엄이 차세대 광리소그래피 확대 일환으로 0.157미크론 노광장비를 세마테크의 레지스트 시험센터에 설치한다고 반도체전문 뉴스 「세미컨덕터비즈니스」가 전했다.

　세마테크는 이 장비를 내년 1분기에 상용화할 수 있을 것으로 알려졌다.

방은주기자 ejbang@etnews.co.kr