ETRI, 고집적 트렌치게이트 방식 대전류용 전력소자 국산화

　휴대통신단말기 전원장치 등에 사용할 수 있는 대전류용 고집적 트렌치 게이트 전력소자가 개발됐다.

　11일 한국전자통신연구원(ETRI·원장 정선종)은 휴대통신단말기 전원장치인 리튬 배터리의 과충전을 방지하며 직류변환기, 자동차 속도감지센서에 이용되는 대전류용 고집적 트렌치 게이트 전력소자를 개발했다고 밝혔다.

　트렌치 게이트 방식은 기존 웨이퍼에 산화막을 수평으로 성장시키는 방식 대신에 웨이퍼에 수직으로 구멍을 형성한 후 구멍 측면에서 산화막을 성장시켜 전극으로 사용하는 방식으로 대전류 및 고집적 회로에 유리한 구조다.

　회로소자기술연구소 전력소자팀(팀장 구진근)에서 개발한 이 소자는 개별 트랜지스터 사이의 간격이 2.5미크론인 벌집형 구조로 1인치당 1억개의 트랜지스터를 고집적할 수 있다.

　이 제품은 최대 동작전압 및 구동전류가 35V/10A급으로 선진국과 대등한 기술 수준이며, 고집적화로 전력손실을 최소화시켰다. 또 양산시 생산공정을 단순화시켜 생산원가를 크게 낮춘 것이 특징이다.

　ETRI는 이 기술이 자기박막 인덕터 및 가속도 센서 기술과 접목돼 자동차용 가속도 센서 및 전력감지 스위치 및 에어백 IC, 배터리 보호 및 직류변환장치 등에 사용될 수 있다고 밝혔다.

　ETRI는 이 기술을 한국전자·광전자에 이전을 추진, 전량 수입에 의존하던 국내 대전류용 전력소자 시장에 연간 100억원의 수입대체 효과를 가져올 것으로 기대했다.

대전=김상룡기자 srkim@etnews.co.kr