터보테크, 반도체 장비사업 본격화

　터보테크가 반도체용 전공정 검사장비인 「이미지캡처&아키빙시스템」을 개발·완료함에 따라 반도체 장비사업을 본격화하기 시작했다.

　28일 터보테크(대표 장흥순)는 반도체 공정 중 웨이퍼 검사 공정의 작업효율을 대폭 향상시키는 시스템을 1년여의 기간과 2억원의 비용을 들여 개발을 완료해 10월중 출시가 가능하다고 밝혔다.

　이번에 개발한 「이미지캡처링&아키빙시스템」은 현미경으로 연결한 CCD 카메라와 비전보드를 장착한 PC를 이용, 웨이퍼를 관찰하고 원하는 영상을 파일로 압축·저장할 수 있다.

　특히 기존 방법은 원하는 영상을 현미경에 연결한 폴라로이드 카메라로 출력함으로써 비용·환경오염 등 문제점이 제기됐으나 이미지 파일로 저장해 컬러프린터나 플로터로 출력, 이같은 문제점을 해결했다.

　이 시스템은 기존 현미경에 바로 장착할 수 있도록 설계해 고가 현미경을 추가로 구입하지 않아도 되는 장점이 있다. 이밖에 이미지를 여러가지 방법으로 가공해 관심 부분만을 부각시켜 저장할수도 있다.

　장흥순 사장은 『이 아이템만으로 연간 50억원 이상의 매출을 올릴 것으로 기대되며 앞으로 이 기술을 기반으로 웨이퍼를 자동으로 검사해 불량부위를 인식, 검사결과를 볼 수 있는 시스템을 개발할 예정』이라고 밝혔다. 한편 터보테크는 계열사인 넥스트인스트루먼트·실리콘테크와 공동으로 「램버스D램용 일체형 오토핸들러」를 출시함으로써 지난 13일 반도체 장비시장에 출사표를 던진 바 있다.

<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>