삼성전자, 12인치 웨이퍼 카세트 이동용 로봇 국내 첫 개발

　삼성전자가 국내 최초로 12인치 웨이퍼 카세트 이동용 로봇을 개발했다.

　26일 삼성전자 생산기술센터(센터장 김성권)는 12인치 웨이퍼 카세트를 자동반송해 주는 이동용 로봇시스템을 국내 최초로 개발, 신뢰성 테스트를 거쳐 내년부터 250MD램 생산라인에 본격적으로 투입한다고 밝혔다.

　생산기술센터가 개발한 12인치 웨이퍼 카세트 이동로봇은 클린 4축 스카라로봇을 채택했으며 고속 자동충전에 의해 24시간 연속가동하고 초음파를 이용한 자기테이프 주행방식을 채택하는 특징을 갖고 있다.

　또한 기존 8인치 웨이퍼 카세트 이동로봇에 비해 택타임(Tact Time)이 2배 가량 빠르며 로봇 작업위치를 비전으로 보정한다.

　한편 세계 반도체 시장이 12인치 웨이퍼로 넘어가기 직전에 12인치 웨이퍼카세트 이동로봇을 개발함에 따라 삼성전자는 세계 클린룸용 로봇시장을 선점할 수 있는 교두보를 확보하게 됐다.

<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>