슈테아그, 삼성전자에 웨이퍼 세정.건조장비 공급

　반도체장비 공급업체인 슈테아그는 최근 삼성전자에 수백만달러어치 상당의 웨이퍼 세정·건조장비를 공급하기로 했다고 17일 밝혔다.

　이번에 공급하는 제품은 단일 배스 방식 웨트스테이션 장비로 여러개의 배스를 거쳐 웨이퍼를 세정하던 기존방식과 달리 한개의 배스 안에 여러장의 웨이퍼를 고정한 후 세척단계별로 필요한 약품을 번갈아 주입해 웨이퍼를 세정하는 새로운 형태의 장비다.

　또한 이 장비는 시간당 400장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 2개의 탱크 툴로 구성됐으며 약품 소모와 전체적인 장비크기를 최소화한 것이 특징이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>