터보테크 등 공작기계 업체들, 반도체 장비시장 "눈독"

　공작기계업체의 반도체용 장비시장 진출이 활발해질 전망이다.

　9일 관련업계에 따르면 화천기계·두산기계(BG)·터보테크·한국공작기계 등 공작기계 생산업체들이 반도체용 장비 가운데 전공정장비와 검사 및 테스트장비 분야에 진출하기 위해 연구개발에 박차를 가하고 있으며 일부 제조업체는 연내 반도체용 장비시장에 진출할 계획인 것으로 알려졌다.

　이처럼 공작기계업체가 반도체 장비시장 진출에 나서는 것은 공작기계와 반도체장비가 외형은 다르나 두 분야 모두 정밀가공기술과 자동화기술이 요구되는 등 기반기술이 유사하기 때문이다. 특히 고부가가치를 창출하는 반도체용 장비가 대부분 수입되고 있다는 점도 공작기계 업체의 반도체용 장비시장 진출을 부추기는 요인으로 작용하고 있다.

　지난 97년부터 반도체 검사장비에 장착되는 제너럴라이즈 컨트롤러시스템 개발에 착수한 터보테크(대표 장흥순)는 최근 이 시스템의 개발을 완료하고 반도체용 장비업체를 대상으로 영업에 나서고 있어 4·4분기부터 납품이 가시화될 전망이다.

　지난해말 전공정장비 개발업체인 지니텍을 인수한 두산(대표 최승철)은 국산화율이 가장 낮은 FAB(Fabrication)시장에 진출할 계획이다.

　이 회사는 256MB 이상에 상용화될 예정인 웨이퍼 평탄장치 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 관련 연구개발에 나서고 있다.

　지난해 6월 프로젝트팀을 구성한 이후 웨이퍼핸들링 장치 연구개발에 나선 화천기계(대표 권영렬)는 최근 완성한 시제품 성능검사에 들어간 것으로 알려졌으며, 한국공작기계도 반도체용 장비 기술확보에 나서고 있다.

<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>