주성엔지니어링, LPCVD 대만에 수출

　반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 자체개발한 저압 화학증착장비(LPCVD)인 「Eureka2000」을 대만지역에 수출한다.

　이 회사는 최근 대만 UMC사에 300만달러 어치 상당의 LPCVD 장비를 공급키로 하고 오는 10월부터 본격적인 장비 선적 작업에 착수할 예정이라고 5일 밝혔다.

　이로써 주성은 과거 이 지역 모젤과 UTEKT사에 공급한 장비를 포함, 총 3대의 LPCVD를 대만 소자업체에 공급하게 됐으며 이번 수주로 「Eureka2000」 누적 생산 40대를 기록했다.

　주성이 수출하는 「Eureka2000」은 웨이퍼를 낱장 처리하는 매엽방식 제품으로 온벽(Warm Wall)타입의 체임버와 저항가열방식의 기판을 이용, 웨이퍼에 폴리실리콘 또는 나이트라이드 등의 각종 화학물질을 증착시키는 장비다.

　특히 반구형 결정 실리콘(HSG:Hemi Spherical Grain) 증착 공정에 대응하는 이 장비는 지난해부터 국내외 반도체 양산라인에 본격 채택되기 시작해 ASM·고쿠사이·어넬바 등 외국 유명 CVD업체들을 제치고 현재 전세계 시장의 50% 가량을 점유하고 있다.

　이에 따라 주성은 지난해부터 대만과 일본, 싱가포르 지역에 제품 판매망을 구축하고 적극적인 장비 수출을 추진해 왔으며 이달중으로 미국에 현지 판매 법인도 설립할 계획이다.

　또한 수출물량 확대에 대비해 최근 이 회사는 경기도 광주 1공장 인근에 총 60억원을 투자, 연간 100대 가량의 CVD 장비를 생산할 수 있는 부지 1500평 규모의 제2공장 건설에 착수했다.

　이영곤 마케팅담당 이사는 『대만 지역외에도 현재 일본지역 소자업체에 대한 장비공급 계약도 거의 성사 단계에 와 있으며 이를 통해 올해 총 300억원 가량의 해외 장비판매 실적을 거둘 수 있을 것』으로 내다봤다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>