이튼, 삼성전자에 이온 주입기.포토레지스트 스트리퍼 공급

　반도체장비 공급업체인 이튼반도체(대표 장석진)는 최근 삼성전자로부터 이온 주입기 및 포토레지스트 스트리퍼(Stripper) 수백만달러 어치를 수주했다고 2일 밝혔다.

　이번에 공급되는 이온 주입기는 반도체 제조시 불순물(이온)을 전기장으로 가속해 웨이퍼에 투입, 특정 회로부분에 전도성을 띠게 하는 장치며 포토레지스트 스트리퍼는 반도체 노광 공정후 웨이퍼상에 남아 있는 포토레지스트를 제거하는 설비다.

　삼성전자는 이들 장비를 기흥 반도체공장의 보완과 신규라인 건설에 사용할 계획인 것으로 알려졌다.

　미국의 반도체장비 및 자동차용 전장품 전문업체인 이튼은 지난 97년 총 2000만달러를 투자, 경기도 평택 지역에 부지 2300평 규모의 대단위 생산공장을 건설하고 그동안 이온 임플랜터를 비롯한 각종 장비를 국내에서 생산해왔다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>