<특집-세미콘웨스트 99> 국내외 주요업체 출품작.. 버팔로 8000XP

IPS "버팔로 8000XP"

　국내 전공정 장비업체인 IPS는 이번 전시회에 건식 에처(Dry Etching System)인 「버팔로 8000XP」를 출품했다.

　양산용 건식 에처로는 국내 최초로 개발, 이미 필드 테스트까지 완료한 이 제품은 64MD램 이상의 고집적 반도체 제조과정 중 폴리실리콘 등의 각종 산화막 식각공정에 사용되는 에칭시스템이다.

　특히 이 장비는 새로운 MICP(Multiple Inductively Coupled Plasma) 소스를 채택, 가스 및 이온 주입에 따른 디바이스의 손실을 최소화했으며 최신 플라즈마 공정이 요구하는 고진공 프로세스에도 적용 가능하다.

　또한 여러개의 공정 체임버를 장착할 수 있는 클러스터 툴 시스템을 채택, 시간당 65장 이상의 웨이퍼를 고속으로 처리할 수 있는 장점을 지니고 있으며 각각의 모듈에는 자동제어시스템을 장착해 그래픽 유저 인터페이스(GUI)의 실시간 제어환경을 제공한다.

　이와 함께 IPS는 차세대 고밀도 금속막 형성용 화학증착(CVD)장비인 「나노­X」 제품도 이번 전시회를 통해 선보였다.