상신공업, 아모퍼스 카본 소재 캐소드 공급

　레이저 커팅 및 가공 전문업체인 상신공업(대표 배홍갑)은 반도체 제조과정 중 에칭공정에 주로 사용되는 필수 소모품인 아모퍼스 카본 소재 캐소드(Cathode)를 개발, 이의 본격적인 공급에 나선다.

　캐소드는 반도체 식각 과정 중 웨이퍼 위에 부착돼 공정가스를 일정하게 분사시키는 기능과 함께 플라즈마를 발생시키는 전극의 역할도 수행하는 소모성 제품이다.

　특히 이번에 개발된 캐소드는 아모퍼스 카본 소재를 기존의 다이아몬드 드릴이 아닌 레이저 빔을 사용해 구멍을 냄으로써 0.4㎜ 구경 이하의 초정밀 가공이 가능하며 이러한 제조 공법은 향후 실리콘 캐소드 제조에까지 적용 가능하다고 회사 측은 밝혔다.

　이에 따라 상신공업은 최근 국내 소자 및 장비업체를 대상으로 샘플 공급에 착수했으며 이달중 관련 자회사를 설립, 캐소드의 본격 양산에 나설 방침이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>