삼성전자.SEBA, 반도체용 초정밀 적산 유량계 개발

　반도체 제조과정에 사용되는 화학약품의 유량을 고정밀도로 조절할 수 있는 반도체용 「초정밀 적산 유량계」가 개발됐다.

　28일 특허청에 따르면 삼성전자는 벤처기업인 SEBA와 공동으로 0.3ℓ급 저유량 대역에서 오차율이 0.3% 이하인 반도체 제조용 초정밀 적산 유량계를 개발, 관련 핵심기술에 대해 공동 특허출원하는 한편 본격적인 양산 채비를 갖추고 있다.문의 (042)481-5731

<이중배기자 jblee@etnews.co.kr>