네덜란드 ASML, ArF 스테퍼 AMD에 납품

　네덜란드의 ASM리소그라피(AS ML)가 업계 최초로 불화아르곤(ArF) 레이저 소스를 광원으로 한 차세대 스테퍼를 출하했다.

　「닛케이마이크로디바이스」에 따르면 ASML은 자사가 지난해 9월 10일 시제품을 출시한 ArF스테퍼 「PAS 5500/900」을 9일 AMD의 서브미크론 디벨로프먼트센터(SDC)에 정식 납품했다고 발표했다.

　한편 AMD는 이 장비를 차세대 마이크로프로세서와 플래시메모리 개발에 사용할 계획인 것으로 알려졌다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>