M+W코리아, 반도체 클린룸 장치 3종 국내 특허 획득

　반도체 클린룸 공급업체인 마이스너앤드부르스트(M +W)코리아(대표 존 민)는 조립형 청결장치인 퀵(CWIC)시스템과 클린룸용 팬필터유닛(FFU) 및 몰드바(Mould Bar) 등 3종에 관한 국내 특허를 획득했다고 11일 밝혔다.

　이번에 특허 기술로 인정받은 퀵시스템은 기존의 클린룸을 몰드바가 필요없는 조립형으로 개량한 것으로 클린룸의 조립 및 설치는 물론 필터의 교체나 구조변경까지 일반 사용자들이 손쉽게 처리할 수 있도록 한 새로운 형태의 청결장치다.

　또한 팬필터유닛과 몰드바는 전체 클린룸 설비를 구성하는 핵심 요소들이며 청정 작업환경이 요구되는 반도체·전자·정밀기계 등 각종 산업분야에 폭넓게 사용되고 있다.

　이 회사가 유럽 및 미국 지역에 이번에 국내 특허까지 획득함으로써 국내 클린룸업체들의 향후 대응이 주목된다.

　독일에 본사를 둔 마이스너앤드부르스트사는 IBM·TI·TSMC 등과 같은 해외 유명 반도체업체의 전공정시설(FAB)을 설계, 시공한 바 있으며 국내에서도 현대전자와 아남반도체 FAB 건설시 설계감리용역을 수행했던 반도체 클린룸 분야의 세계 최대 엔지니어링 회사다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>