루슨트, 전자빔 리소그래피 장비 상용화 나서

　미국 루슨트 테크놀로지스가 어플라이드 머티리얼스·ASML 등 반도체 장비업체들과 공동으로 새로운 전자빔 리소그래피 시스템의 상용화에 나서기로 했다고 「테크웹」이 보도했다.

　루슨트는 지난 2년간의 연구끝에 최근 「스칼펠」이란 기술을 적용한 전자빔 리소그래피 시스템의 시제품 개발에 성공한 후 이 분야에 축적된 기술을 갖고 있는 장비업체들과 협력해 이를 상용화하기로 한 것으로 전해졌다.

　어플라이드는 반도체 장비산업 선두업체로 리소그래피 분야로의 진출을 꾀해왔으며 ASML은 이 분야에서 지난 몇 년간 고성장세를 유지해온 주요 업체라는 점이 고려돼 루슨트의 협력상대로 결정된 것으로 알려졌다.

　루슨트가 장비업체들과 협력해 상용화하기로 한 스칼펠 기술 적용 전자빔 리소그래피 시스템은 반도체의 고집적·고성능화 실현을 위한 차세대 리소그래피 장비로 인텔과 AMD·모토롤러 등이 컨소시엄을 구성해 개발중인 극자외선(EUV) 기술 등에 기반할 광학계 시스템과 치열한 표준경쟁을 벌일 것으로 예상되고 있다.

　스칼펠이나 EUV 기술은 모두 반도체의 초미세 회로선폭 형성에 이용되는 기술로 불화아르곤 레이저 등을 이용하는 기존 자외선 리소그래피 기술을 대체하기 위해 개발되고 있다.

<오세관기자 skoh@etnews.co.kr>