日원자력硏, 3인치 탄화 실리콘웨이퍼 제조 성공

　일본원자력연구소가 실리콘웨이퍼 상에 탄화실리콘 단결정막을 성장시켜 직경 3인치(약 76㎜) 탄화실리콘웨이퍼를 제조하는데 성공했다고 「일간공업신문」이 보도했다.

　탄화실리콘웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼와 달리 열과 방사선에 강해 향후 우주 및 원자력 분야에서 널리 활용될 가능성이 높은 소재이나 제조단가가 높고 대구경화가 어려워 아직 실용화 단계에 이르지 못하고 있다.

　이번에 제조에 성공한 직경 3인치 크기는 지금까지 한계로 여겨진 직경 1.5인치보다 2배 정도 큰 것으로 일본원자력연구소측은 이 제조기술로 최대 6인치 크기의 탄화실리콘웨이퍼까지 제조할 수 있어 곧 탄화실리콘 IC의 대량생산이 가능할 것이라고 밝히고 있다.

　탄화실리콘웨이퍼는 미국, 유럽, 일본의 기초과학연구진들이 최근 높은 관심을 보이고 있는 소재로 아직은 초기 소자개발 수준을 벗어나지 못한 상태다.

　일본원자력연구소는 이온빔을 이용한 새 산업기반기술 연구의 일환으로 내방사선성 소재를 개발하는 과정에서 이번 대구경 탄화실리콘웨이퍼를 제조하게 됐다고 밝혔다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>