사이머, 2000㎐급 레이저 소스 공급

　반도체용 레이저 소스 전문 공급업체인 사이머는 0.15미크론 반도체 공정에까지 적용할 수 있는 2천㎐급 DUV(Deep Ultra Violet) 레이저 공급장치 「ELS 6000」 모델을 이달부터 본격 출시한다고 15일 밝혔다.

　최근 일본에서 열린 「세미콘 재팬 98」 전시회를 통해 공개된 이 장비는 차세대 노광설비인 DUV용 스테퍼에 부착돼 불화크립톤(KrF) 엑시머 레이저를 발생시키는 첨단 레이저 소스로 생산성 및 안정성이 기존 제품보다 30% 이상 향상됐다.

　또한 2천㎐ 이상의 주파수를 지닌 엑시머 레이저를 10억번 이상 발생시킬 수 있으며 공정 체임버의 수명을 2배 이상 향상시켜 전체적인 장비 운영 비용을 획기적으로 줄였다.

　미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스시장의 80% 이상을 점유하고 있는 업체로 최근 국내 반도체 장비업체와 합작으로 사이머코리아를 설립한 데 이어 경기도 분당에 기술지원센터까지 개설, 적극적인 한국시장 개척에 나서고 있다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>