한국DNS, DUV용 트랙장비 국내 최초 개발

　반도체 장비업체인 한국DNS(대표 박창현)가 64MD램 3세대 이상의 고집적 반도체 제조에 적용되는 DUV(Deep Ultra Violet) 노광 공정용 트랙 장비를 국내 최초로 개발했다고 7일 밝혔다.

　트랙 장비는 감광 재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해 주는 일종의 코터(Coater) & 디벨로퍼(Developer) 설비로 대당 제품 가격만도 20억원을 호가하는 전공정용 고부가가치 제품이다. 특히 DUV용 트랙 장비는 반도체 회로 선폭의 미세화 추세와 함께 기존의 i라인용 광원 대신 불화크립톤(KrF) 엑시머레이저를 사용하는 DUV 노광공정이 본격 채택되면서 최근 그 수요가 폭발적으로 증가하고 있다.

　이 회사의 박창현 사장은 『이번에 개발된 「K-SPIN8」은 컨트롤러 및 소프트웨어까지 완전 자체 기술로 만들어진 국산 DUV용 트랙 장비로 제품 성능 및 가격 면에서도 일본 도쿄일렉트론(TEL) 및 미국 SVG사의 제품보다 훨씬 우수한 것으로 평가받고 있다』고 말했다.

　한국DNS가 개발한 DUV용 트랙 장비 「K-SPIN8」은 20Å(옹스트롬) 이내의 균일한 도포 능력과 15 나노미터(㎚)급의 초정밀 현상능력을 보유했으며 새로운 장비 설계 기술의 도입으로 기존 제품에 비해 장비 설치 면적을 40% 가량 줄였다.

　또한 노광후 오븐(PEB) 온도의 균일도 및 웨이퍼 정체 시간의 관리를 위해 별도의 스윙 암(Swing Arm)을 탑재했으며 사용자의 요구에 따라 스테퍼 및 웨트스테이션은 물론 웨이퍼의 불필요한 패턴을 제거시키는 WEE(Wafer Edge Exposure) 시스템 등과도 연결(In-Line)이 가능하다.

　이에 따라 한국DNS는 최근 국내 및 해외 지역 반도체 생산라인에 5대 가량의 DUV용 트랙 장비를 이미 공급키로 계약한 데 이어 내년부터 본격적인 장비 양산에 착수, 이 분야에서만 총 1천5백억원 이상의 매출을 올릴 수 있을 것으로 예상하고 있다.

<주상돈 기자>