호서대-미래산업 공동, 온도제어시스템 국산화

　반도체 검사에 중요한 부분을 차지하는 테스트핸들러의 온도제어시스템이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

　호서대 반도체 제조장비 국산화연구센터(센터장 황희융)는 최근 미래산업과 공동으로 그동안 전량 일본에서 수입해 온 반도체 검사장비용 온도제어시스템을 독자개발하는 데 성공했다고 21일 밝혔다.

　이번에 개발한 온도제어시스템은 반도체 소자를 저온에서 고온까지 테스트하는 테스트핸들러의 항온조내 각 포인트간 온도 오차를 ±0.35도로 개선, 기존 시스템에 비해 반도체 소자의 수율을 획기적으로 높일 수 있도록 했으며 일본 제품에 비해 성능이 뛰어나다.

〈정창훈 기자〉