[화요특집-반도체.부품장비] LCD 장비.. 미래엔지니어링/카세트.로봇 팔

　반도체 장비업체인 미래엔지니어링(대표 김종인)은 액정표시장치(LCD) 제조공정에서 유리 패널의 이송에 따른 물류비용을 최소화할 수 있는 새로운 형태의 LCD 카세트 및 로봇 팔(핸드)을 개발, 본격적인 공급을 추진중이다.

　이 회사가 개발한 LCD 카세트는 LCD패널을 적재하고 운반하는 설비로 3.5세대 LCD 규격에 해당하는 6백70×8백30㎜ 크기의 초대형 유리 패널에까지 적용 가능하다.　특히 이 제품은 종전과 달리 카세트 내부에 새로운 지지 패널을 설치, 유리 패널의 적재 간격을 최고 18㎜ 수준으로까지 낮추고 전체 카세트 크기를 최소화함으로써 LCD 제조공정에서의 물류비용 절감 효과를 극대화했다.

　이와 함께 개발된 로봇 팔은 카세트와 공정 장비 사이를 오가며 유리 패널의 로딩 및 언로딩 작업을 수행하는 핸들링 장치로 유리 패널의 하중으로 인한 처짐현상이 일어나지 않도록 기존의 알루미늄 재료 대신 항공기 구조용 첨단소재인 고분자 섬유강화 복합재료를 사용해 만들었다.

　이에 따라 미래엔지니어링이 개발한 LCD 카세트와 로봇 팔을 실제 양산라인에 적용할 경우 작업 패널 간격을 최고 18㎜ 수준으로까지 줄일 수 있으며 이는 현재 일본업체들이 사용하고 있는 35㎜ 간격보다 50% 가량 향상된 성능이라는 게 회사측의 설명이다.