[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. DUV용 레이저 공급장치

사이머 "DUV용 레이저 공급장치"

반도체용 레이저 소스 전문업체인 사이머는 DUV(Deep Ultra Violet) 리소그래피 공정용 레이저 공급장치인 「5000시리즈」를 이번 전시회에 출품했다.

이 제품은 차세대 노광장비인 DUV용 스테퍼에 부착돼 KrF 엑시머 레이저를 발생, 공급해 주는 첨단 레이저 장비로 기존 제품보다 안정성 및 생산성은 높으면서도 장비 운영비용은 획기적으로 줄였다.

특히 이 장비는 2백48 나노파장과 1천㎐ 이상의 주파수를 지닌 엑시머 레이저를 10억번 이상 발생시킬 수 있으며 공정 체임버의 수명을 기존보다 2배 이상 향상시킨 것이 특징이다.

미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스시장의 90% 이상을 점유하고 있는 업체로 DUV공정의 도입 확대에 힘입어 지난해 2억달러의 매출을 올리는 등 연평균 3백% 이상의 고속 성장을 거듭하고 있는 유명 벤처기업이다.

특히 이 회사는 최근 국내 반도체 장비업체인 디아이와 합작으로 사이머코리아를 설립한 데 이어 최근 경기도 분당에 사무실 및 기술지원센터를 개설, DUV 스테퍼용 레이저 소스의 본격적인 국내 공급을 추진하고 있다.