[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 자동화 설비

PRI오토메이션 "자동화 설비"

미국의 자동화시스템 전문 생산업체인 PRI오토메이션은 이번 전시회를 통해 반도체 및 LCD 제조라인용 각종 자동화 설비를 대거 선보였다.

PRI오토메이션은 반도체 전공정 및 후공정용 자동화시스템 전문업체로 웨이퍼 이송에 필요한 각종 로봇시스템과 자동화장치들을 주력 생산하고 있으며 최근에는 LCD 및 3백㎜ 웨이퍼 제조라인용 자동화 설비들도 잇따라 발표하는 등 이 분야에서 세계 최고의 기술력을 인정받고 있는 회사다.

특히 PRI가 생산하는 자동 핸들링시스템과 웨이퍼 무인운송장치(AGV) 및 이송시스템들은 반도체 라인 전체를 완전 자동화해주는 차세대 개념의 장비다.

또한 이 회사는 이퀴프사를 인수하며 공급하기 시작한 클러스터 툴 컨트롤러(CTC:Cluster Tool Controller)도 선보여 눈길을 끌었다. 에처, CVD 등 첨단 반도체 장비에 들어가는 핵심 제어모듈인 CTC는 각종 장비에 부착돼 웨이퍼 이송 및 체임버 관련 모듈을 작동하는 일종의 로봇시스템이다.

PRI는 최근 국내 장비업체와 합작으로 한국PRI를 설립하고 관련 장비의 공급은 물론 기술지원 및 자체 조립생산을 위한 공장 건설도 계획하는 등 본격적인 한국시장 진출도 추진중이다.