[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. DUV용 스캐닝시스템

니콘 "DUV용 스캐닝시스템"

일본 스테퍼 업체인 니콘은 회로선폭 0.25미크론 이하에까지 대응할 수 있는 스텝 & 스캐닝(Step & Scanning) 시스템인 「NSR S202A」를 이번 전시회에 출품했다.

이번에 전시된 반도체 스캐닝 시스템은 이미지 전체를 한꺼번에 노광시키는 기존 스테퍼 장비와 달리 광원 렌즈를 레티클과 함께 움직이며 투사함으로써 26×33㎜의 넓은 이미지 필드를 형성, 2백56MD램 이상의 고집적 메모리 및 차세대 마이크로프로세서 제조에 적용 가능한 최첨단 장비다.

또한 이 제품은 새로운 KrF 엑시머 레이저 소스를 채택해 노광 시간을 최소화 시키고 레티클 및 웨이퍼 스테이지를 고속으로 작동시킴으로써 8인치 웨이퍼 기준으로 시간당 80장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있도록 한 초고속 제품이다.

이와 함께 니콘은 회로선폭 0.35미크론 수준의 i라인용 스캐닝 장비인 「NSR S102B」와 64MD램 양산용 KrF 엑시머 스테퍼인 「NSR-2005EX14C」도 전시했다. 또한 이 회사는 내년 상반기에 「NSR S202A」의 후속 모델인 「NSR S202B」 제품도 본격 출시할 계획이라고 이번 전시회를 통해 밝혔다.