LG반도체, 반도체 제조공정 시뮬레이션 SW 美에 수출

LG반도체(대표 구본준)는 인하대, 청주대와 산, 학 협동 프로젝트로 개발한 반도체 제조공정용 소프트웨어를 미국의 반도체 설계 소프트웨어 전문업체인 실바코(SILVACO)사에 수출한다.

LG반도체는 실바코사와 반도체 제조공정 시뮬레이션 프로그램인 「LG-OLIS(LG-Optical Lithography Simulation)」의 라이선스 권리 및 프로그램 소스(Source)를 10년간 제공하는 조건으로 현금 2만 달러와 약 20만 달러에 상당하는 실바코사의 반도체 설계 소프트웨어를 지원받는 내용의 계약을 체결했다고 15일 밝혔다.

94년부터 4년간 총 1억6천만원을 투자해 개발한 LG-OLIS는 마스크(Mask, 회로원판)에 미세하게 그려져 있는 회로를 웨이퍼의 표면에 형상화하는 과정을 시뮬레이션하는 프로그램이다.

이 소프트웨어는 마스크를 통과한 자외선이 웨이퍼에 상으로 맺힐 때 발생하는 빛의 회절현상과 공정의 진행에 따라 발생하는 웨이퍼 표면의 미세한 변화 등을 물리적으로 계산해 실제 회로로 구현하는 데 필요한 모든 공정과 결과를 예측함으로써 차세대 반도체 소자 개발의 시간과 비용을 절감해주는 제품이다.

LG반도체의 중앙연구소장 이희국 전무는 『산, 학 협동 프로젝트를 통해 선폭이 점점 좁아지고 있는 회로를 형상화할 때 더욱 다양하고 세밀한 정보를 수집하고 분석하는 프로그램을 개발하게 됐다』고 설명했다.

또한 반도체 설계 소프트웨어 분야의 선두그룹에 속해 있는 실바코사는 이번 LG반도체로부터 입수한 프로그램을 자사의 설계 소프트웨어에 접목시켜 더욱 강력한 기능을 가진 소프트웨어로 개발해 전세계에 배포할 계획이다.

한편 실바코사는 실리콘밸리의 중심부인 산타클래라에 있는 반도체 설계 소프트웨어(Semiconductor Technical CAD)분야의 전문업체로 전세계 3백여개의 반도체회사에 반도체 설계 소프트웨어 및 제조공정 시뮬레이션 소프트웨어를 공급하고 있는 유력업체다.

<최승철기자>