LG실트론, 200mm용 에피택셜 웨이퍼 본격 양산

웨이퍼 생산업체인 LG실트론(대표 이창세)이 국내 업체로는 처음으로 2백㎜(8인치)용 에피택셜(Epitaxial) 웨이퍼(이하 에피웨이퍼)의 본격적인 양산에 나선다.

이 회사는 향후 수요가 급증할 것으로 예상되는 2백㎜ 에피웨이퍼 시장의 조기 선점을 위해 구미 신공장에 총 1백억원을 투자, 연간 10만장 규모의 에피웨이퍼 전용 생산라인 구축을 완료하고 최근 이의 본격적인 가동에 들어갔다고 2일 밝혔다.

에피웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼 위에 화학증착법을 이용, 또다른 단결정막을 성장시킨 것으로 표면결함이 적고 전기적 특성이 우수해 향후 고부가가치 비메모리 제품과 64MD램 이상의 고집적 메모리 제조에 확대 채용될 것으로 기대되는 차세대용 웨이퍼 제품이다.

또한 이 제품은 기존 실리콘 웨이퍼 사용시 가장 큰 문제점으로 지적돼온 각종 표면 결함을 극복할 수 있는 현실적 대안으로 인식되고 있으며 기존 웨이퍼 제품보다 넷 다이나 수율면에서 약 10% 정도 우수한 것으로 확인됐다고 회사측은 설명했다.

이에따라 도시바, 후지쯔, 미쓰비시, IBM, 지멘스 등 세계적인 반도체 업체들이 64MD램의 주력 웨이퍼로 에피 제품을 채택하고 있으며 LG반도체 등 국내 업체들도 2백56MD램 이상의 제품에 대한 에피웨이퍼의 본격적인 채용을 적극 검토 중인 것으로 알려졌다.

이에 따라 실트론은 현재 10만장 규모의 에피 웨이퍼 생산 능력을 내년까지 21만장, 그리고 2002년에는 60만장 규모로 대폭 확대하고 국내 시장 뿐만 아니라 세계 시장 공략에도 적극 나설 계획이다.

실트론측 한 관계자는 『국내 반도체산업의 경쟁력 제고를 위해서는 에피웨이퍼와 같은 핵심재료의 국산화가 필수적』이라고 강조하고 『이를 위해 지난 95년 인수한 미국 에피텍시社와의 공동연구를 통한 관련 제조 기술의 조기 확보와 본격적인 국내 생산을 추진, 수입 대체는 물론 세계 에피웨이퍼 시장 전체를 주도해 나갈 계획』이라고 말했다.

한편, 지난해 세계 2백㎜ 에피웨이퍼 시장은 24억달러 규모로 전체 실리콘 웨이퍼 시장의 32.8%에 달하고 있으며 반도체 고집적화로 수요가 더욱 확대될 것으로 기대되는 2001년에는 연간 50억 달러 규모에 이를 것으로 전망된다.

<주상돈 기자>