신성이엔지, 웨이퍼 자동 이송장치 獨 수출

반도체 클린룸 전문업체인 신성이엔지(대표 이완근)가 독일 E사에 자체 개발한 웨이퍼 자동이송장치(Sorter)를 수출한다.

이번에 수출되는 자동이송장치는 반도체 웨이퍼 가공 공정(FAB)중 웨이퍼를 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동 이송, 정렬해주는 일종의 핸들링 머신이다.

또한 이 장비는 반도체 제조 과정에서의 웨이퍼 손상을 최소화했으며 광문자(OCR) 인식을 통한 ID 판독과 윈도우95 운영 체제의 쉬운 인터페이스를 구현한 것이 특징이다.

최근 신성이엔지로부터 이 장비를 시험 공급받은 독일 E사는 1개월간의 최종 성능 시험 과정을 거친후 일정 물량 이상을 추가 구입할 계획인 것으로 알려졌다.

신성은 이번 자동이송장치의 독일 공급을 계기로 이 제품의 본격적인 수출에 나서는 한편 3백mm 웨이퍼 및 국부 클린룸(SMIF)용 소터의 개발도 적극 추진할 방침이다.

<주상돈 기자>