한국PRI, 삼성전관 로봇시스템 채용 확대

반도체 자동화시스템 공급 업체인 한국PRI(대표 김태수)는 최근 삼성전자가 개발한 웨이퍼 및 LCD기판 운반용 자동 로봇시스템을 자사가 제공하는 전체 공장 자동화 솔루션에 채용, 국내 및 해외 반도체 업체에 이를 확대 공급키로 했다고 19일 밝혔다.

삼성이 개발한 로봇시스템은 고청정과 고진공이 요구되는 반도체 제조공정에서 센서를 이용해 카세트에 적재된 다양한 크기의 웨이퍼나 LCD기판을 자동으로 정렬하고 손상없이 운반할 수 있도록 하는 일종의 공장 자동화용 무인 운송 시스템이다.

또한 이 장치는 두개의 팔로 구성돼 있어 작업시 대기시간을 최소화해 공정시간을 단축할 수 있는 것이 장점이며 현재는 물론 향후 3백mm 웨이퍼 라인의 도입시 필수적으로 채택될 차세대용 제품이다.

한국PRI는 세계적인 반도체 자동화시스템 전문 업체인 미국 PRI오토메이션사의 국내 합작 법인으로 삼성의 로봇 시스템외에도 각종 공장 자동화 관련 국산 장비의 적극적인 채용을통해 국내외 반도체 업체에 이를 확대 보급시켜 나갈 계획이다.

<주상돈 기자>