[화요특집-LCD] 부품.소재.장비업체.. 한일초음파

초음파 세척시스템 전문업체인 한일초음파(대표 김채진)는 지난 79년 창립된 이래 산업용 세척시스템사업에 주력해왔다.

브라운관 세척시스템 개발로 출발한 이 회사는 지난 95년 1월 TFT LCD 세척장비 개발에 나서 총 7억원을 투자, 97년 1월 LCD 유리기판을 세척, 건조하는 1MHz급 메가소닉 초음파 시스템과 초정밀 건조가 가능한 탈산소수 제조장치를 자체 개발하는 데 성공했다.

이 제품은 스프레이식 메가소닉을 이용하는 비접촉식 세척장치로 1μm 이하의 초미세입자의 제거와 함께 이오나이저로 제전이온을 생성, 분사시켜 세척이 완료된 유리 표면에 먼지 오염물질을 발생시킬 수 있는 정전기를 완전히 제거할 수 있다. 또한 낱장처리식 구동장치와 제어장치를 채용해 자동으로 시스템을 조정할 수 있으며 터치스크린 방식으로 시스템을 조작이 가능할 뿐 아니라 모니터를 통해 기기동작 상태를 표시해주는 등 사용자의 편의성을 최대한 도모했다.

이 회사의 유병길이사는 『그동안 전량 수입에 의존해온 LCD용 세척시스템을 자체 개발함에 따라 국내 TFT LCD 산업의 국제 경쟁력 향상에 크게 기여했다』면서 『앞으로 반도체와 하드디스크 등 초정밀 세척분야로의 응용을 확대할 방침이다』고 밝혔다.

이를위해 이 회사는 지난해 5월 FPD(Flat Pannel Display) 사업부를 신설, 본격적인 영업에 나섰으며 앞으로 PDP, 하드디스크 및 웨이퍼 세척시스템을 추가로 개발할 계획이다.

복합주파수를 사용하는 동시다주파(40∼90Hz)초음파 발생장치는 단주파방식에 비해 수위, 온도 등에 영향을 받지 않으며 침투력이 높아 균일한 세척이 가능하다. 또한 초음파 세척 효율을 높이기 위해 세척용액에 포함된 공기를 제거하는 탈기 스위치를 내장했으며 진동부와 발진부 사이의 호환성이 뛰어난 특징을 갖고 있어 전자부품, LCD, 반도체, HDD 등의 정밀세척에 유리하다.

이 회사는 이 외에도 스프레이식 메가소닉 세척시스템, UV 세척시스템 및 현상기 등을 개발해 생산, 공급하고 있다. 평판디스플레이 시장이 확대될수록 균일하게 미세한 입자까지 세척할 수 있는 시스템 개발의 중요성이 더욱 증대하고 있는 데 힘입어 이 회사는 올해 1백억원의 매출을 올릴 계획이다.