AMK, 웨이퍼 각종 결함 고속 검출 전자현미경 개발

반도체 장비 공급 업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 반도체 웨이퍼의 각종 결함을 고속으로 검출해 낼 수 있는 새로운 개념의 웨이퍼 결함 검사용 전자 현미경 「SEMVision」을 업계 최초로 개발했다고 5일 밝혔다.

이번에 개발된 장비는 첨단 반도체 생산 과정에서 웨이퍼 수율을 관리하기 위한 고속 전자동 결함 검사기로 기존 제품보다 최대 10배 이상 빠른 처리속도와 1미크론 이하의 고해상도를 갖는다.

또한 이 장비는 시간당 3백개 이상의 결함 형태를 자동으로 분류하는 ADC(Automatic Defect Classification) 기능을 보유하고 있으며 전체 반도체 생산 라인 및 다른 장비들과의 인라인화를 통한 엄격한 수율 관리 기능을 수행한다.

이 회사 한 관계자는 『현존의 광학기술로는 0.25미크론 이하의 소자에서 결함을 검사하는 데 어려움이 많아 고집적 반도체의 제조 수율 향상을 위해서는 「SEMVision」과 같은 웨이퍼 결함 검사용 전자현미경(DR-SEM)의 채택이 필수적』이라고 말했다.

<주상돈 기자>