AMK, DARC 공정용장비 공급

반도체 장비 공급업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)는 첨단 반도체 증착막 형성 기술인 DARC (Dielectric Anti-Reflective Coating) 공정 용 반도체 장비를 현대전자 64MD램 제조 라인에 공급키로 했다고 6일 밝혔다.

어플라이드가 지난 96년 세계 최초로 선보인 DARC 공정 기술은 이중 절연막 및 금속 배선막 형성용 증착 기술로 i라인과 DUV 공정에 모두 사용할 수 있으며 형성 막의 균일도가 우수하고 피복성이 좋아 최고 0.18미크론 공정에까지 적용할 수 있는 최첨단 반도체 프로세스 기술이다.

현대전자는 어플라이드로부터 DARC 제조 공정 도입에 필요한 각종 장비들을 공급받아 64MD램 제조용 0.25미크론 공정 라인에 이를 적용할 계획인 것으로 알려졌다.

<주상돈 기자>