신성이엔지, 차세대 국부 클린룸 설비 "SMIF시스템" 국내 첫 선

반도체 클린룸 전문생산업체인 신성이엔지(대표 이완근)가 차세대용 국부 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템을 국내 최초로 개발했다.

지난 2년간 차세대용 SMIF시스템 개발을 추진해온 이 회사는 최근 이 시스템에 들어가는 핵심장비 중 하나인 초소형 클린룸장치(Mini Environment)를 개발한 데 이어 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)와 이를 이동시키는 로더 및 언로더 장치를 잇달아 국산화시킴으로써 전체적인 SMIF시스템 관련기술 솔루션을 자체 제공가능하게 됐다고 25일 밝혔다.

<주상돈 기자>