<시리즈> 변혁기 맞은 반도체 장비산업 분야별 신기술 점검 (3)

CTC시스템

최근 에처, 화학적증착장비(CVD), 스퍼터 등과 같은 각종 첨단 반도체 장비 제조에 사용되는 핵심기술 중의 하나가 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)시스템이다.

CTC시스템은 반도체 장비에 내장돼 웨이퍼 이송 및 체임버 관련 각종 모듈을 서로 조합하고 원활한 작동을 수행하는 일종의 로봇 및 컨트롤 장치다.

이러한 CTC시스템이 반도체업계로부터 주목받기 시작한 것은 최근 개발되는 반도체 전공정 장비 대부분이 진공로봇, 체임버 등과 같은 여러 핵심 컴포넌트들을 서로 연결하고 조합하는 「믹스&매치」방식으로 제작되면서 이의 조립과 작동을 관장하는 클러스터 툴 기술이 장비 성능을 결정짓는 핵심 기술로 인정되면서부터다.

반도체 장비 전문가들은 『CTC 기술이 향후 멀티 체임버 및 12인치 웨이퍼용 반도체 장비 개발시 전체적인 기계 성능을 좌우할 뿐만 아니라 개발된 장비가 반도체 양산 라인에 실제 적용될 수 있는 지 판가름하는 핵심 기술』이라고 강조한다.

이에따라 어플라이드머티리얼즈, 램리서치, 노벨러스 등과 같은 외국 유력 전공정 장비업체들 대부분이 자체적인 CTC 시스템 개발 및 공급을 추진하고 있으며 브룩스오토메이션, RPI 등 이 분야 외국 전문업체들도 관련 모듈의 외부 판매에 적극 나서고 있다.

특히 브룩스오토메이션과 RPI는 과거 테크웨어가 보유했던 프로세서 모듈 기술 및 RPI측의 CTC 소프트웨어 기술을 둘러싸고 상호 특허권 분쟁까지 벌이는 등 업체간 경쟁은 갈수록 치열해지고 있다.

이를 반영하듯 최근 발표된 한 조사 자료에서는 지난해 세계 CTC시스템시장이 전년대비 31.6% 포인트 성장한 1백12억달러 규모였으며 오는 2000년에는 2백19억달러 규모에 달할 것으로 예상되는 등 CTC시스템에 대한 장비업체의 수요는 꾸준히 증가할 전망이다.

이런 가운데 청송시스템, 아펙스 등 국내 주요 전공정 장비업체들이 자체적인 CTC 기술 개발을 추진하고 있으며 세종정보통신, 코닉시스템, 에이릭스 등과 같은 국내 CTC 관련업체들도 치열한 기술 개발 경쟁을 벌이고 있다.

특히 반도체 장비용 컨트롤러 제조업체인 세종정보통신은 최대 3개의 체임버를 동시 운영할 수 있는 CTC시스템을 최근 개발하고 국내 P업체의 반도체 장비에 이를 탑재한 데 이어 H소자업체를 통한 최종 성능 시험까지 완료, 이 분야에서 발빠른 행보를 보여주고 있다. 세종이 개발한 CTC시스템은 기존 외산 제품들과 달리 상위 및 하위 모듈을 하나의 운용체계로 통합함으로써 완벽한 분산처리 환경을 구현했으며 유닉스 및 표준형 하드웨어를 결합한 완전 개방형 구조를 채택했다.

또한 한국전자통신연구원(ETRI)과 반도체 장비업체인 아펙스, 그리고 CTC 관련 소프트웨어 전문업체인 코닉시스템 및 프로세스 모듈 컨트롤러 개발업체인 에이릭스는 정보통신부의 산, 학, 연 프로젝트 자금을 지원받아 CTC시스템의 개발을 공동 추진중이다.

지난해 분당에 한국지사를 개설한 브룩스오토메이션도 그동안 주력해온 로봇시스템 관련 기술을 바탕으로 지난해 인수한 테크웨어의 반도체장비용 프로세스 모듈 기술과 최근 개발한 웨이퍼 이송 관련 상위 컨트롤 기술을 결합, 본격적인 CTC 관련 종합 솔루션 영업에 나섰다.

CTC시스템 업체 한 관계자는 『전체 반도체 장비 가운데 특히 전공정장비는 CTC시스템 관련 기술의 보유가 필수적』이라고 전제하며 『따라서 최근 본격화되고 있는 국내 반도체 장비업체들의 전공정장비 개발 노력이 실제 양산화 단계로까지 이어지기 위해서라도 CTC 기술의 확보가 요구된다』고 강조한다.

<주상돈 기자>