호서대-한국DNS, 반도체웨이퍼 세정장비 감시제어SW 국산화

반도체 제조공정에서 웨이퍼에 묻어 있는 불순물을 제거하는 반도체웨이퍼 세정장비를 감시제어할 수 있는 소프트웨어가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

충남 지역협력연구센터인 호서대학교 반도체제조장비 국산화연구센터(소장 박헌휘)는 5일 소프트웨어 전문업체인 한국DNS와 공동으로 총 1억2천만원의 연구비를 투입, 2년여 만에 반도체 웨이퍼 세정장비를 감시하고 이를 관리하기 위한 전용 소프트웨어를 국산화하는 데 성공했다고 발표했다.

이번데 개발한 반도체웨이퍼 세정장비 감시소프트웨어는 텍스트 형태의 사용자 인터페이스를 윈도NT상의 그래픽 환경으로 개발했으며 장비의 동작상태를 추적하기 위한 데이터베이스를 구축, 기기의 동작상태를 그래픽으로 한눈에 파악할 수 있도록 한 것이 특징이다.

반도체웨이퍼 세정장비는 대당 20억원이 넘는 고가 첨단장비로 국내에서 한국DNS가 이를 개발 공급해 왔으나 감시소프트웨어는 대부분 일본으로부터 수입에 의존해 왔다.

<정창훈 기자>