라이카코리아, 포토마스크 검사장비 국내 공급

반도체 장비 공급업체인 라이카코리아(대표 고승희)는 리소그래피 공정에서 포토마스크의 회로 측정 및 검사에 사용되는 「LMS IPRO」 제품을 본격 국내 공급한다고 21일 밝혔다.

이번에 출시된 제품은 반도체 제조 라인의 마스크샵(Maskshop)에서 사용되는 필수 장비로 설계된 도면과 실제 마스크에 그려진 회로간의 차이를 측정하는 전자빔 검사 장비이다.

특히 이 장비는 위상변이 포토마스크(PSM) 등 첨단 마스크 제품은 물론 회로선폭 0.13 미크론급의 4기가 D램 제조용 포토마스크 검사에까지 대응 가능하다.

<주상돈 기자>