<외신다이제스트> 도쿄정밀, 웨이퍼검사장비 시장 진출

일본 반도체제조장비업체인 도쿄정밀이 웨이퍼검사장비 시장에 진출한다.

「日마이크로디바이스」에 따르면 도쿄정밀은 최근 i선을 광원으로 하는 웨이퍼검사장비를 개발, 이 시장에 참여한다.

도쿄정밀은 신제품이 현재 일반적으로 사용되는 장비로는 검출이 어려운 『0.18미크론 패턴에 대해 95%의 검출율을 달성했다』고 주장하면서 『이 장비를 내세워 웨이퍼검사장비 시장에 본격 진출할 것』이라고 밝혔다.

한편 웨이퍼검사장비시장은 현재 미 KLA텐코社가 거의 독점하고 있다.

<심규호 기자>